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TURBO PUMP (HS-AAE-TPH10) 조회 349
옵션표
- Part Number
- Item Name
- HIPACE 10 TURBO PUMP
- Description
- - RH/VOD Inlet type Prima Pro에 장착되는 Turbo Pump 로서 공정에서 변화되는 압력 (0.3 mbar~1013 mbar) 따라 Prima Pro의 Inlet System에 일정한 압력을 유지 시키기 위한 Turbo Pump.
본문
* RH/VOD Inlet type Prima Pro에 장착되는 Turbo Pump
* Small and robust turbo pump with a pumping speed of 10 l/s for N2